ZYGO 计量检测技术

ZYGO公司介绍
ZYGO轮廓仪及Newview9000介绍
ZYGO轮廓仪原理
MX软件介绍
样品测样展示
讨论

Zygo公司介绍

创始于1970年，最初致力于精密光学器件加工制造。

很快发展成为精密计量设备公司。
– 研发了首台商用菲索式激光干涉仪。
– 当前是全球范围内，菲索式激光干涉仪及白光干涉
? ?光学轮廓仪相关技术研发及设备制造的领导者

在全球范围内，有超过500名雇员，工作在世界各地。

ISO 9001 认证企业。

属于AMETEK Ultra Precision Technologies Division?

其包括6个商业单位，9个拥有各自技术和产品的高科技品牌。

?遍布全球的生产，直属的销售，维护网络。
? 总部位于美国东部康涅狄格州。
? 在中国大陆区域设有直属分公司，进行设备制造，销售和售后服务工作。

– 在上海组装生产标准激光干涉仪已有7年，有200台以上的上海ZYGO组装生产的干涉仪工作在中国区域。
– 20年以上相关经验的技术支持团队，直属于厂家，基于生产级别的维护备件支持。
– 基于AMETEK平台在大陆区域的平台，如北京AMETEK分部，我们能提供更广泛的客户支持。

Zygo中国技术支持团队，对于Zygo计量设备有20年以上的经验。
? 自2008年以来，Zygo中国组装升级了超过200台GPI激光干涉仪。近期推出了全新的GPI QPZ抗震型。
? 基于生产级别的技术及硬件支持，长期丰富的技术经验，确保Zygo用户能够得到可靠，高效的技术支持。

?（1）Zygo公司各类干涉仪可以用于检测自1米口径平面样品的面形检测（0.001周期/毫米），到0.3微米
（衍射极限，3000周期/毫米）分辨率的粗糙度微观形貌测量。

– 各类大口径激光干涉仪用于大口径面形检测，标准机型自800mm-300mm。
– 标准口径激光干涉仪150mm及100mm口径，匹配Zygo独有的分立光学变焦，可有效将分辨率延
展到10周期/毫米的中频部分。
– 白光轮廓仪主要用于高频，微观形貌检测，配合Zygo特有的大视场范围物镜（0.5倍物镜）及
拼接功能，白光轮廓仪测试能力，能有效向中低频拓展。

Zygo公司基于双频激光干涉仪，提供纳米级位移测量及超精密位移控制系统。其精密位移系统广泛应用于光刻机，超精密制造等领域。?

Zygo公司提供精密光学部件，各类高精度球面，非球面部件的定制加工服务。包括基于各种材料的精密器件加工，各类特殊定制的高精度非球面。Zygo同时具有精密加工能力及可靠的计量检测能力，使其成为这一领域可靠的合作伙伴。

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光学轮廓仪?

Nexview
– ZYGO功能最全面的光学轮廓仪，拥有优于0.06nm的形貌重复性分辨率STR。
– 包括更稳定的改进结构，更低的系统噪声，Surescan抗震扫描模式，SmartPSI增强型的快速移相采样方式，样品表面色彩信息获取等等。

NewView 9000
– 通用主力机型，0.08nm形貌垂直分辨率RMS:0.008nm
– 灵活可变的结构，更低的系统噪声，Surescan抗震扫描模式。

ZeGage
– 通用主力机型，0.15nm或3.5nm形貌重复性分辨率STR
– 灵活可变的结构，Surescan抗震扫描模式。

Portable Profiler
– 通用主力机型，0.12nm形貌重复性分辨率STR
– Surescan抗震扫描模式。

Newview9000 白光干涉扫描轮廓仪?

Newview非接触式3D光学轮廓仪是基于ZYGO专利的白光扫描及移相干涉测量法包括FDA空间频率域分析，SureScan抗震白光扫描算法.
? 自动样品找寻,聚焦功能Part Find；
? 智能测量模式Smart setup;
? 提供快速，非接触式的测量，以三维模式分析样品表面关键参数和关键尺寸：
– 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）

–几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征图形的位置和数量等等）

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