干涉光学测试导论

1.用于光学测试的基本干涉仪

2。相移干涉术

3。专业光学测试

4。长波长干涉术

5。非球面试验

6。表面微观结构的测量

7。绝对测量

8。结束语

第1部分-光学测试用基本干涉仪

(1)双光束干涉
(2)菲佐干涉仪和特维曼-格林干涉仪
(3)测试平面和球面的基本技术
(4)球面的基本测试技术
(5)散射板和斯马特干涉仪
(6)侧向剪切干涉仪
(7)典型干涉图

(1)双光束干涉

?正弦干扰条纹

(2) 菲佐干涉仪

用斐索干涉仪获得典型干涉图?

?表面高度误差与边缘偏差的关系:

?

->凹曲面和凸曲面的菲索条纹?

->特维曼-格林干涉仪（平面）?

?->特维曼-格林干涉仪（球面）?

?->菲索干涉仪激光源（平面）?

?->斐索干涉仪激光源（球面）?

?测试高反射率表面

?山丘或山谷

?->?散射板干涉仪

?->散射板显微图像?

散射板干涉仪?

?散射板干涉图

?->?Smartt点衍射干涉仪

?->??横向剪切干涉术

横向剪切边缘?

是被测波面

当

获得亮条纹

Average over shear distance

测量剪切距离上的斜率平均值

?->??准直测量

典型横向剪切干涉图

?横向剪切干涉仪

干涉图球面像差?

?干涉图小散光，矢状位焦点

干涉图大范围散光，矢状位焦点

?

?干涉图大范围散光，中间焦

干涉图
大昏迷，倾斜度变化?

?改变焦点的干涉图

干涉图组合像差?

?