MEMS突出的优点是利用微电子技术把传感器、执行器和处理电路这三部分集成在一起,组成单片集成传感器或系统,更可以实现传感器芯片的大规模批量制造,已广泛用于信息、汽车、消费、工控等领域,并成为国际竞争的战略制高点。那么功率放大器如何为MEMS传感器测试提供激励信号呢?今天Aigtek安泰电子就为大家答疑解惑~
深究传感器和MEMS的发展过程,二十世纪六十年代刚出现微加工器件,七十年代主要研究新的技术和扩展应用方面,八十年代系列生产更为复杂的器件,九十年代是集成敏感系统的发展,2000年以后无线微系统开始发展。
什么是MEMS传感器?
传感器是当今数字世界的重要组成部分之一。由于所有的计算和处理都是在数字信号上完成的,因此在模拟世界和数字电子设备之间应该有一个媒介。传感器弥合了这一差距,因为它们用于观察模拟物理参数的时间效应并产生有意义的信息(对计算机)。
传感器的现代定义有时令人困惑,但简单来说,传感器是一种包含基本传感元件的设备,这些元件感测温度或湿度等物理量并将其转换为电信号。传感器还由信号处理单元(如放大器、滤波器或ADC)或这些元件的组合组成。
不同类型的MEMS传感器
MEMS技术的主要实施者之一是汽车行业。现代汽车使用大量传感器,其中大多数是基于MEMS的设备。以下是现代汽车中使用的MEMS传感器列表。
l加速度计–用于电子稳定控制和安全气囊展开。
l惯性测量单元或IMU(它们是MEMS加速度计和MEMS陀螺仪的组合)-用于测量自动驾驶的偏航,俯仰和滚动。
l磁力计–用于导航中使用的方向。
l压力和惯性传感器–用于制动控制。
l压力传感器–胎压监测系统。
l气流传感器–进气监测。
l燃油传感器–燃油液位指示器。
l碰撞和碰撞传感器–碰撞检测和安全气囊展开。
lMEMS麦克风–用于通信和降噪。
l温度传感器–用于自动气候控制和发动机温度监控。
l还有许多其他基于MEMS的器件适用于各种应用。
前置微小信号放大器如何为MEMS传感器测试提供激励信号?
确定MEMS传感器的输入规格:包括频率、功率、阻抗等参数。
选择合适的功率放大器类型:根据MEMS传感器的需求,选择适当的功率放大器类型,在MEMS传感器测试过程中我们常会用到ATA-5620前置微小信号放大器,来进行信号的放大。
ATA-5620前置微小信号放大器
带宽:(-3dB)1kHz~100MHz
电压:2Vp-p(50Ω)
电压增益:60dB
连接前置微小信号放大器和MEMS传感器:将功率放大器的输出端与MEMS传感器的输入端正确连接。
调整功率放大器的参数:根据MEMS传感器的需求,调整功率放大器的增益、输出功率、输出阻抗等参数,以确保提供适当的激励信号。
进行测试:使用适当的测试仪器和软件,对MEMS传感器进行测试,观察其响应和性能。