写在前面:
- 该文档是学习指南,按照文档的章节阅读可以一步步了解Secs/Gem相关软件的架构、SecsGem的知识等等。
- 该文档是对软件和协议的总结概括,便于读者阅读,易于理解。建议用该文档作为学习汇总笔记,软件或协议的使用官方手册作为查询手册使用。
- 建议初学者可以按照文档的章节阅读,先了解整体框架再了解部分;对于部分的学习,建议先阅读文档了解大体知识,再查询手册了解详细内容。
- Secs/Gem的内容比较多,将分成四篇博文讲解
SECS(SEMI Equipment Communication Standard)半导体设备通讯标准,用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。由SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International 国际半导体设备与材料产业协会) 制定,属于SEMI标准中的设备自动化/软件标准。
简单点说,SecsGem就是一种半导体设备通讯标准,定义了一些通信消息,生产设备端和控制端共同遵守这个标准用来通信,可以做到自动化下发命令,减少人力操作的目的。
以ATE行业为例,设备端(Equipment)和控制端(Host)使用SECS通信,框架图如下:
左侧是设备端,也就是测试机,右侧是控制端,一般我们叫Host。业务角度上,设备厂商会提供设备所支持SECS指令以及指令参数的代码,而控制端厂商一般会去适配设备。开发上,要求两方均支持SECS标准,但是为了开发方便,也可以使用一些三方软件的这类功能。
SECS标准包括SECS-I、SECS-II、HSMS 和 GEM 四个标准。其实还有一个最新国际标准EDA(Interface A) ,本文暂时不做介绍。
SECS-I 标准
HSMS 标准
SECS-II 标准
GEM 标准
SECS-I 和 HSMS 处于模型的底层,为半导体设备通信链路层标准。SECS-I 是基于RS-232的协议,HSMS为基于TCP/IP的协议。
SECS-II协议封装了 SECS-I 和 HSMS,在它们的基础上定义了半导体设备的通信格式。
GEM则在SECS-II的基础上定义了半导体生产制造过程中的交互行为。
SECS-(SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer)定义了使用 RS-232 作为传输媒质时点到点的数据通信,用于串口通讯的设备,这种设备基本都是20年前的老旧设备,近些年的新设备已经不再使用此标准了。因此对于此标准的开发需求已经很少了。
参考:一文搞懂SECS/GEM(二)
参考:一文搞懂SECS/GEM(三)
参考:一文搞懂SECS/GEM(四)
以上这些,基于工作经验和SECS标准手册整理而来,由问题和纰漏请多多指正,感谢~~~